een specifieke gasstroom controleren

met een rendabele oplossing

De besturing van de flow (gasstroom) is een belangrijk en snel evoluerend onderwerp van gasdynamiek. Een kleine verandering van een configuratie kan resulteren in een groot technisch voordeel. Deze verandering kan worden bewerkstelligd door de inzet van statische of dynamische componenten. Statische componenten, zoals een doorstroomopening (orifice) of poreuze elementen, zijn stabiel en vereisen per definitie geen energie. Dynamische controle vereist actuatoren die altijd energie verbruiken (bv. magneetventielen en actuatoren). De aansturing kan vooraf worden bepaald (open-loop control) of afhankelijk gemaakt worden van sensoren die de flow “bewaken” (closed-loop control).

We don't know exactly when the cooperation started, 30 years ago the administration was still a paper matter. Centri's oldest kept order book dates back to 1991 and it already includes Teesing as a client: an order for 30 brass distribution blocks, ordered by Fred Lamb, our current managing director.

Both companies are old family businesses and have existed for about 70 years. Exactly when Centri started is also unknown. Even Hannes doesn't know. Hannes is 86 years old and has been working there since he was 15 years old. He still works there 2 days a week!

The technique used in a SFC also creates a laminar flow.

Dynamische of statische flow controle?

Veel ingenieurs denken direct aan MFC’s (mass flow controllers) als er behoefte is aan een specifieke gasstroom met een hoge nauwkeurigheid in de ontwerpfase. Zodra het hele systeem is getest, wordt de MFC's vaak ingesteld op een enkele waarde en blijven de condities van gastoevoer (media, inlaatdruk, temperatuur en andere omstandigheden) hetzelfde. De MFC voldoet prima, maar het is flinke investering als je dit vergelijkt met een SFC (static flow controller), die aanzienlijk lager geprijsd is. Daarnaast moet een MFC regelmatig gekalibreerd worden (1 keer per jaar). Met een SFC zou je in staat zijn om de totale kosten te verlagen tot 70% ten opzichte van standaard industriële flowregelaars, afhankelijk uw toepassing.

wat is een SFC?

Een statische flow controller (SFC) is een component dat wordt gebruikt om de gasstromen tot 40 slpm te controleren met een hoge nauwkeurigheid. Deze betrouwbare mechanische oplossing wordt ontworpen en gekalibreerd voor een specifiek type gas en een vooraf bepaald instelpunt. De SFC wordt geconfigureerd om een specifiek aangegeven flow te verkrijgen, inclusief vacuüm, met +/- 1% nauwkeurigheid. De controller kan worden geconfigureerd met de veel voorkomende ¼ “face seal of 1.125” IGS C-seal-verbindingen. SFC’s worden getest na kalibratie en elke unit wordt geleverd met een certificaat die de kwaliteit garandeert, getoetst aan een NIST primaire standaard (zeer vergelijkbaar met MFC).

Ontworpen voor high tech toepassingen

Het ontwerp is mechanisch, eenvoudig en robuust. Alle SFC’s hebben een inlaatpoort, een uitlaatpoort en een inwendig poreus metalen element. Het component heeft een compact ontwerp, wat ruimte bespaart in kleine ontwerpen. Het is gebouwd voor UHP (ultra high purity) toepassingen. Het is gemaakt van 316L roestvrij staal, met een 10 Ra oppervlakteafwerking, in een ISO klasse 5 cleanroom waardoor het uitermate geschikt is voor de halfgeleiderindustrie. Het kan ingezet worden voor semiconductorprocessen als lenskooeling, statische laminaire flow, "etching", "chemical vapor deposition", "epitaxial deposition", "ion implant", "atomic layer deposition" en wafer-transportatie. Maar er zijn vele andere OEM- of onderzoekstoepassingen waarin een statische gasstroom nodig is.

Om de juiste SFC te bepalen, moet u de volgende gegevens verzamelen:

Gewenste flow (in SCCM of slpm)
Gassoort (bijv. stikstof)
Inlaatdruk (in psi of bar)
Uitlaat druk (in psi of bar)
Soort aansluiting
Temperatuur gas (°C of °F)

Meer informatie?

Meer informatie over onze producten of op zoek naar een oplossing op maat? Neem contact op met onze sales engineers.

NL: +31 70 413 07 00
CN: +86-(0)10-60576210
USA: +(1) 973 383 0691
TW: +886-(0)3-5600560

Of gebruik ons contact formulier

Heeft u al contact met een sales engineer? Neem rechtstreeks contact op:

Vind uw sales engineer