GasShield POU Filter FSM 1/4 >0,0015um Alloy 22 GERESERVEERD NVV/JO TDS 3-7-2020
Artikelnr.: 31331125
GasShield POU Filter FSM 1/4 >0,0015um Alloy 22 GERESERVEERD NVV/JO TDS 3-7-2020
Artikelnr.: 31331125
Artikel nog niet beschikbaar voor online aanvragen, neem contact op met onze sales engineers.
Beschikbaar voor geregistreerde klanten.
High purity gas filters provide 9-log filtration of particles down to 0.0015 µm resulting in particle-free gas. For maximum gas filtration efficiency, strength and reliability, GasShield point-of-use gas filters are ideal for ultra high purity gas delivery applications. They are compatible with most high purity electronics grade process gases.
Artikel
31331125
Rubriek [Merk]
Point-of-Use Filter
Omschrijving
Point-of-Use Filter >0.0015μm Face seal buitendraad 1/4 Hastelloy® C-22 < 5µm Ra
Materiaal
Hastelloy® C-22
Materiaal gesinterde filtermedia
Hastelloy® C-22
Maximum werkdruk
258.5 barg
Helium lekstroom
Tot 10-9 atm cc/sec
Maximale drukverschil
68.9 bar
Max. werktemperatuur
450° C
Connectie type
Face seal buitendraad/Face seal buitendraad
Deeltjesafschudding
Nul deeltjes bijdrage boven de achtergrond (<1 particle/ft³) volgens SEMI F43-0308 testmethode
Totale koolwaterstoffen
Onder detecteerbare limieten volgens ASTM F1398 testmethode
Vochtbijdrage
<10 ppb na 1 uur bij een lage flow omgevingsspoeling volgens SEMI F27 testmethode
Deeltjesverwijderingsgrootte
> 0.0015 μm
Filter efficiëntie (log reductie waarde)
> 9 LRV (99.9999999% reductie in deeltjes). Bevestigd met de meest penetrerende deeltjesgrootte van 0,08 μm volgens SEMI F38-0699 testmethode
Oppervlakte afwerking
<5µm Ra
C
Face seal buitendraad 1/4
Ø D
19 mm
L
84 mm
SW (HEX)
20,6
Opmerkingen
Aangepaste ontwerpen en fittingen beschikbaar
Heeft u vragen?
Wilt u meer informatie over onze producten, services of een oplossing op maat? Neemt u dan contact op met een van onze Sales Engineers
Neem contact met ons op
WE MAKE YOUR TECHNOLOGY WORK
NL - Tel. +31 70 413 07 50
USA - Tel. +(1) 973 383 0691
CN - Tel. +86 (10) 56865822/56865835
TW - Tel. +886-(0)3-5600560
Copyright © 2024 Teesing BV