Inloggen

Winkelwagen

Point of use gas purifiers

Chemische zuivering van gassen, bij lage flows

We weten dat de zuiverheid van gassen top prioriteit heeft. Onze point-of-use purifiers bieden een relatief laag debiet dat varieert van 0,1 slpm tot 100 slpm. Wij leveren state-of-the-art purifiers die ontworpen zijn voor toepassingen met een ultrahoge zuiverheidsgraad tot 9N. Waarbij de onzuiverheid in het procesgas maximaal 100 PPT moet zijn.

Toepassingen van onze point-of-use purifiers

Point-of-use purifiers worden door onze klanten op diverse gebieden ingezet:

Research laboratoria
Spoelgas toepassingen
Semiconductor processen

Aan semiconductor fabs leveren we purifiers voor procesgassen in diverse applicaties, onder meer:

Depositie processen

NH₃, N₂O, SiH₂, Si₂H₆, O₂, WF₆, GeH₄

Lithografie processen

Ne, Kr, Ar, F₂, H₂, CO₂, CDA

Ets processen

CF₄, C₅F₈, SF₆, BCl₃, HBr, HCl, Cl₂, O₂

Doping (implantatie)

AsH₃, PH₃, BF₃, B₂H₆, GeH₄, Ge₂H₆

Hechting

O₂, H₂, Ar

Schoonmaak

NF₃, Cl₂, HCl, F₂, CF₄, C₂F₆, C₄F₈, ClF₃, SF₆, CO₂

Uitvoeringen van onze point-of-use purifiers

Onze point-of-use gasreinigers zijn er in 3 verschillende modellen:

Vessel only-reinigers. Werken zonder dat er warmte nodig is om onzuiverheden te verwijderen.
In-line reinigers. Hebben verwarming, temperatuurindicatie en temperatuurcontrole.
Paneel serie reinigers. Bieden geavanceerde automatisering en integratie.

Uitgang zuiverheid

Op deze manier handhaven onze point-of-use purifiers de procesgasintegriteit in toepassingen waar ultrahoge zuiverheid vereist. We rekenen daarbij met een uitgangsonzuiverheid van 100 PPT of minder bij een inputkwaliteit van 99,999% (5N).

Gebruiksduur tot regeneratie of vervanging

De dimensies van de purifier bepalen de uiteindelijke gebruiksduur. Op basis van de door u geleverde proces parameters leveren wij purifiers in dimensies die gebaseerd op een beoogde levensduur van 2 jaar bij een nominale stroomsnelheid van 24 uur per dag en 7 dagen per week.

Foto: verschillende point-of-use purifiers die terugkomen voor regeneratie.

Subcategorieen

Point-of-use gas purifiers

Worden direct op de plek van de verbruiker geinstalleerd. Doorgaans met een debiet van 0,1-100 slpm.

Meer informatie

Micro-bulk purifiers, also known as Area purifiers

Micro-bulk gas purifiers

Ook wel Area purifiers genoemd. Worden vaak gebruikt om een aantal machines te voeden met ultra puur proces gas. Nominale flows 100-1200 slpm.

Meer informatie

Bulk gas purifiers

Gasvoeding in semicon fabs, of bij industriele gasleveranciers. Flows van 60-20.000 nm3/hr.

Meer informatie

Purifier regeneratie

Snelle, vakkundige regeneratie van alle merken en typen purifiers.

Meer informatie

Artikelen over purifiers:

Webinar: Alles wat u moet weten over Purifiers.Application story: Kwaliteit van UHP gas verbeteren.Customer story: Bulk purifiers voor NXP Semiconductors.

Link:
Is uw verontreiniging niet gasvormig, maar vloeistof of vaste stof in gas?
Dan heeft u geen purifier nodig, maar een filter.

Downloads

Point of use purifiers - Brochure

Micro-bulk purifiers - Brochure

Meer informatie?

Meer informatie over onze producten of op zoek naar een oplossing op maat? Neem contact op met onze sales engineers.

NL: +31 70 413 07 00
CN: +86-(0)10-60576210
USA: +(1) 973 383 0691
TW: +886-(0)3-5600560

Of gebruik ons contact formulier

Heeft u al contact met een sales engineer? Neem rechtstreeks contact op:

Vind uw sales engineer

Wij maken gebruik van cookies om uw bezoek te volgen en uw voorkeuren te onthouden. Ook kunnen er commerciële cookies geplaatst worden, accepteer deze voor de beste user experience. Bekijk ook ons Privacybeleid.